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全自動晶圓腐蝕機(多晶硅腐蝕機浸泡 式腐蝕清洗 電子清洗設備) 

概述:全自動晶圓腐蝕機(多晶硅腐蝕機浸泡 式腐蝕清洗 電子清洗設備) 用于晶圓片的清洗;適用于單片6″8″12″晶圓片?赡懿捎谜茁暡ㄇ逑矗∕Hz級超聲)增強效率,尤其擅長清除頑固顆粒和有機物;高壓噴淋與化

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全自動晶圓腐蝕機(多晶硅腐蝕機浸泡 式腐蝕清洗 電子清洗設備)
用于晶圓片的清洗;適用于單片6″8″12″晶圓片。可能采用兆聲波清洗(MHz級超聲)增強效率,尤其擅長清除頑固顆粒和有機物;高壓噴淋與化學濕法腐蝕協同作用,高效去除污染物且避免硅片損傷。
機械臂走向右進左出’或‘左進右出’;制程控制為PLC控制方式;操作界面為全圖形化中文彩色人機界面(10.4彩屏);槽體數量根據制程工藝要求選擇定制;設備制造北京華林嘉業科技有限公司(CGB);
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